能量色散谱仪主要由 Si(Li) 半导体探测器、在电子束照射下,样品发射所含元素的荧光标识 X 射线,这些 X 射线被 Si(Li) 半导体探测器吸收,进入探测器中被吸收的每一个 X 射线光子都使硅电离成许多电子—空穴对,构成一个电流脉冲,经放大器转换成电压脉冲,脉冲高度与被吸收的光子能量成正比。最后得到以能量为横坐标、强度为纵坐标的 X 射线能量色散谱。 在波谱仪中,在电子束照射下,样品发出所含元素的特征 x 射线。若在样品上方水平放置一块具有适当晶面间距 d 的晶体,入射 X 射线的波长、入射角和晶面间距三者符合布拉格方程时,这个特征波长的 X 射线就会发生强烈衍射。波谱仪利用晶体衍射把不同波长的 X 射线分开,即不同波长的 X 射线将在各自满足布拉格方程的 2 θ 方向上被检测器接收,最后得到以波长为横坐标、强度为纵坐标的 X 射线能量色散谱。